微機電量測系統的白光干涉儀(White Light Interferometer)跟平面振動分析儀(In-Plane Vibration)，目前已經完成保養跟校正。
各位台灣半導體研究中心教授及廠商會員您好:
微機電量測系統的白光干涉儀(White Light Interferometer)跟平面振動分析儀(In-Plane Vibration)，目前已經完成保養跟校正，歡迎大家踴躍預約。
微機電量測系統,簡介說明如下:
1.白光干涉儀 (White Light Interferometer): 主要利用白光干涉原理來量測物件表面3D輪廓 (profile)或元件尺寸等。
2.平面振動分析儀(In-Plane Vibration Analyzer): Polytec 利用stroboscopic video microscopy的技術來量測物體動態位移特性，可量測物
體平面振動之共振頻或位移等，但待測物必須要為週期性的運動。
3.雷射都卜勒(Laser Doppler Vibrometer): 是一個快速、非接觸式的out-of-plane vibration量測系統。
4.加速度振動量測平台(Shaker): 可用來量測加速度器感測器，包含加速度力驅動與感測訊號輸出之關係。
5.桌上型掃描式電子顯微鏡(Desktop Scanning ElectronMicroscope): 利用電子束掃描物件表面‚以取得立體影像。
6.單軸定位與旋轉桌系統(Rate Table): 是以電動無刷式的方式驅動旋轉載台，可以sinusoidal訊號的輸入方式作來回旋轉或作單一方向的角
速度控制旋轉，可提供一角速度的旋轉變化給予量測晶片(例如:陀螺儀)。最多可以同時連接34組輸出埠。
7.全聚焦圖像拼接顯微鏡(Olympus Microscopes): Olympus Microscopes MX63顯微鏡搭配影像專用圖像拼接軟體，可擷取圖像作拼接快
速完成全景圖像，不須後製對位拼接。
儀器簡介詳細說明，請看儀器簡介之新竹-->微機電量測系統，
網址: https://ebs.tsri.org.tw/ebs/equiIntroduction/equiIntroductionAction_init.action
預約網頁如網址: https://ebs.tsri.org.tw/ebs/onlineBooking/init.action
敬祝 研安
國家實驗室研究院台灣半導體研究中心 晶片實作組 謹上
微機電量測系統的白光干涉儀(White Light Interferometer)跟平面振動分析儀(In-Plane Vibration)，目前已經完成保養跟校正，歡迎大家踴躍預約。
微機電量測系統,簡介說明如下:
1.白光干涉儀 (White Light Interferometer): 主要利用白光干涉原理來量測物件表面3D輪廓 (profile)或元件尺寸等。
2.平面振動分析儀(In-Plane Vibration Analyzer): Polytec 利用stroboscopic video microscopy的技術來量測物體動態位移特性，可量測物
體平面振動之共振頻或位移等，但待測物必須要為週期性的運動。
3.雷射都卜勒(Laser Doppler Vibrometer): 是一個快速、非接觸式的out-of-plane vibration量測系統。
4.加速度振動量測平台(Shaker): 可用來量測加速度器感測器，包含加速度力驅動與感測訊號輸出之關係。
5.桌上型掃描式電子顯微鏡(Desktop Scanning ElectronMicroscope): 利用電子束掃描物件表面‚以取得立體影像。
6.單軸定位與旋轉桌系統(Rate Table): 是以電動無刷式的方式驅動旋轉載台，可以sinusoidal訊號的輸入方式作來回旋轉或作單一方向的角
速度控制旋轉，可提供一角速度的旋轉變化給予量測晶片(例如:陀螺儀)。最多可以同時連接34組輸出埠。
7.全聚焦圖像拼接顯微鏡(Olympus Microscopes): Olympus Microscopes MX63顯微鏡搭配影像專用圖像拼接軟體，可擷取圖像作拼接快
速完成全景圖像，不須後製對位拼接。
儀器簡介詳細說明，請看儀器簡介之新竹-->微機電量測系統，
網址: https://ebs.tsri.org.tw/ebs/equiIntroduction/equiIntroductionAction_init.action
預約網頁如網址: https://ebs.tsri.org.tw/ebs/onlineBooking/init.action
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國家實驗室研究院台灣半導體研究中心 晶片實作組 謹上