各位台灣半導體研究中心會員使用者您好:


微機電量測系統的白光干涉儀(White Light Interferometer)目前功能出現異常，即日起將暫停此項目的量測服務，待機台維修恢復正常，將再另行公告。
其他微機電量測系統之機台仍正常提供服務，有其他微機電量測機台使用需求者，仍可正常預約使用，謝謝。


若有任何疑問，請聯繫量測系統負責人：王怡仁 nick.wang@narlabs.org.tw


敬祝 研安

國家實驗室研究院台灣半導體研究中心 晶片實作組 謹上