本中心CF-E07 Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機暫停開放使用暨新系統教育訓練公告
內容:
主旨：本院台灣半導體研究中心(以下簡稱本中心) CF-E07 Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機暫停開放使用暨新系統教育訓練公告
公告事項：
一、停用事由：CF-E07 Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機因設備硬體及系統更新，將暫停開放使用。
二、停用日期：114/11/3 ~ 114/11/7
三、期間於原CF-E07 Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機進行之製程服務，均移至CF-E11 8吋後段金屬與金屬層間引洞蝕刻機進行。相關作業使用規定，依所轄工程師指示及規定。
四、該設備於硬體及系統更新後，將於11/6、11/7進行新系統教育訓練，欲參加者請點選下列連結報名 https://forms.gle/ZSF91R1VAcZrYUqS6
五、停止服務期間，有任何製程作業需求或教育訓練問題，請洽負責工程師：邱文政(Ext.7569)。
六、預計開放時間為11月8日，如有提前或延後，將由網頁公告。
主旨：本院台灣半導體研究中心(以下簡稱本中心) CF-E07 Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機暫停開放使用暨新系統教育訓練公告
公告事項：
一、停用事由：CF-E07 Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機因設備硬體及系統更新，將暫停開放使用。
二、停用日期：114/11/3 ~ 114/11/7
三、期間於原CF-E07 Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機進行之製程服務，均移至CF-E11 8吋後段金屬與金屬層間引洞蝕刻機進行。相關作業使用規定，依所轄工程師指示及規定。
四、該設備於硬體及系統更新後，將於11/6、11/7進行新系統教育訓練，欲參加者請點選下列連結報名 https://forms.gle/ZSF91R1VAcZrYUqS6
五、停止服務期間，有任何製程作業需求或教育訓練問題，請洽負責工程師：邱文政(Ext.7569)。
六、預計開放時間為11月8日，如有提前或延後，將由網頁公告。