公告
主旨：本中心新 I-line 光學曝光機移入作業期間搬運動線機台暫停服務通知
說明：配合新 I-line 光學曝光機移入作業，相關搬運動線範圍內之機台將暫停服務，相關事項如下：
一、作業時間：11 月 7 日（星期五）12:00 至 18:00。
二、作業內容：進行 I-line 光學曝光機移入作業，作業期間搬運動線範圍內機台暫停服務。（搬運動線位置請參閱附件。）
三、暫停服務機台：

• 8 吋高密度化學氣相沉積系統（T28）
• 後段化學氣相沉積系統（T26）
• FIB 電子束/離子束雙束系統（L13）
• Track 自動化光阻塗佈及顯影系統（L09）
• 阻劑塗佈及顯影系統 ACT8（L17）
• 聚焦電子束系統（L18）
• 高速量產型光學曝光系統（248 Scanner）（L22）

四、注意事項：
若搬運作業或機台暫停服務時間有任何變動，將另行公告通知。
五、聯絡資訊：
若對 I-line 光學曝光機移入作業有任何疑問，請洽：
負責工程師 許進財
分機：7648
電子郵件：cthsu@niar.org.tw