化學清洗蝕刻工作站/化學實驗室停止使用通知
因應廠務端含氟廢水池汙泥清理，114/11/6(四)8:30~17:00，
前段、後段化學清洗蝕刻工作站，所有含氟化學槽配合停止使用。
倘，作業提早執行完畢，各化學槽/化學實驗室，將即時開放。
以上
前段、後段化學清洗蝕刻工作站，所有含氟化學槽配合停止使用。
- 6吋前段化學清洗蝕刻工作站B.O.E. 槽 (C05PR-BOE)停止使用。
- 8吋前段化學清洗蝕刻工作站DHF槽 (C10-DHF)停止使用。
- 8吋前段化學清洗蝕刻工作站Ge-DHF槽 (C10-Ge-DHF)停止使用。
- 6吋後段化學清洗蝕刻工作站B.O.E.槽(C06-03)停止使用。
- 8吋後段化學清洗蝕刻工作站B.O.E.槽(C09-02)停止使用。
- 化學實驗室停止使用一天(該區廢水排至含氟廢水池)。
倘，作業提早執行完畢，各化學槽/化學實驗室，將即時開放。
以上