本中心8吋前段濕式清潔及蝕刻後光阻殘渣去除系統移入作業動線通知
公告
主旨：本中心8吋前段濕式清潔及蝕刻後光阻殘渣去除系統移入作業動線通知
一、作業時間：114年12月9日（星期二）上午9:00至12:00。
二、作業內容：進行8吋前段濕式清潔及蝕刻後光阻殘渣去除系統 移入100級無塵室作業，
請學生與各位同仁於搬運動線範圍內注意人員與設備安全。（搬運動線位置
請參閱附件。）
三、注意事項：如作業時間或動線有所變動，將另行公告通知。
四、聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽負責工程師呂如梅/7613。
主旨：本中心8吋前段濕式清潔及蝕刻後光阻殘渣去除系統移入作業動線通知
一、作業時間：114年12月9日（星期二）上午9:00至12:00。
二、作業內容：進行8吋前段濕式清潔及蝕刻後光阻殘渣去除系統 移入100級無塵室作業，
請學生與各位同仁於搬運動線範圍內注意人員與設備安全。（搬運動線位置
請參閱附件。）
三、注意事項：如作業時間或動線有所變動，將另行公告通知。
四、聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽負責工程師呂如梅/7613。