本中心中電流佈植機製程廢氣處理設備移入作業動線通知
主旨：本中心中電流佈植機製程廢氣處理設備移入作業動線通知
一、作業時間：114年12月10日(星期三)上午09:00至12:00
二、作業內容：
1. 114年12月8日(星期一)中電流佈植機進行低溫泵回溫、製程廢氣處理設備降溫及CF-S09超低能量摻雜與改質製程機台之真空停機。
2. 114年12月10日(星期三)中電流佈植機製程廢氣處理設備移入Class 10k級無塵室作業，請學生與各位同仁於搬運動線範圍內，注意人員與設備安全(搬運動線位置請參閱附件)。
3. 114年12月11日(星期四)中電流佈植機製程廢氣處理設備進行電力及氣體銜接，以及測試廢氣處理設備之功能。
三、注意事項：如作業時間或動線有所變更，將另行公告通知。
四、聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽負責工程師巫振榮(分機：7698)。
一、作業時間：114年12月10日(星期三)上午09:00至12:00
二、作業內容：
1. 114年12月8日(星期一)中電流佈植機進行低溫泵回溫、製程廢氣處理設備降溫及CF-S09超低能量摻雜與改質製程機台之真空停機。
2. 114年12月10日(星期三)中電流佈植機製程廢氣處理設備移入Class 10k級無塵室作業，請學生與各位同仁於搬運動線範圍內，注意人員與設備安全(搬運動線位置請參閱附件)。
3. 114年12月11日(星期四)中電流佈植機製程廢氣處理設備進行電力及氣體銜接，以及測試廢氣處理設備之功能。
三、注意事項：如作業時間或動線有所變更，將另行公告通知。
四、聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽負責工程師巫振榮(分機：7698)。