材料檢測分析
本實驗室提供高品質的檢測分析服務、人才培育,以及進行前瞻性檢測技術與方法之研發。除了各主要儀器設備的單機服務功能之外,也提供整合式分析服務及客製化試片製備服務,提供完整而快速的分析結果。目前擁有的技術服務領域可細分四大類,分別為:
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掃描影像分析技術:
包括原子力顯微鏡(atomic force microscope, AFM)、掃描電容顯微鏡(scanning capacitance microscopy, SCM)、導電式原子力顯微鏡(Conductive Atomic Force Microscopy, CAFM)、掃描穿透式電子顯微鏡(scanning transmission electron microscopy, STEM)與掃描式電子顯微鏡(scanning electron microscopy, SEM)。
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表面化學及光譜分析技術:
包括二次離子質譜儀(secondary ion mass spectroscopy, SIMS)、X光光電子能譜儀(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)、微觀富氏轉換紅外線儀(Micro Fourier-transform infrared spectroscopy, Micro-FTIR)、顯微拉曼光譜儀(Micro-Raman spectroscopy, Micro-Raman)”。
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晶體結構繞射分析技術:
包括高解析的穿透式電子顯微鏡(transmission electron microscopy, TEM)與X光繞射儀(X-ray diffractionanalysis,XRD)。
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材料機械性質及電性特性技術:
包括奈米壓痕(Nanoindenter)、萬能試驗機(Universal Testing Machine)與奈米尺度電性縱深分析(Electrical characterization of semiconductors at atomic-level resolution)。