材料分析收費標準
學界自行操作：以訂價*10%收費。
學界（含中研院）委託代工：技術服務費以學界訂價*10%收費，材料費100%收費。
業界自行操作：不開放。
業界委託代工：以業界訂價收費。
TAF-ISO17025證書費: 學界 5,000元/份；業界 10,000 元/份
注意事項：
學界（含中研院）委託代工：技術服務費以學界訂價*10%收費，材料費100%收費。
業界自行操作：不開放。
業界委託代工：以業界訂價收費。
TAF-ISO17025證書費: 學界 5,000元/份；業界 10,000 元/份
注意事項：
- 自行操作預約/委託服務申請：請至 製程與量測分析服務系統 / MES系統 申請。
- 委託代工時數未達半小時(30分)者以半小時計。
| 設備編號 | 設備名稱 | 收費標準 | |||
|---|---|---|---|---|---|
|
自行操作 收費標準 (元/秒) |
委託代工 收費標準 (元/小時) |
備註 | |||
| NM-002 | 大試片掃描探針顯微鏡(8吋晶片) (AFM) | 0.45 | -- | 只限自行操作 | |
| TAF-ISO17025認證 - 1.線距量測 ; 2.階高量測 | -- | ||||
| NM-005 | 離子減薄機 | 0.1 | -- | ||
| NM-006 | 場發射穿透式電子顯微鏡 (TEM) | 1.5 | 10,800 | ||
| TAF-ISO17025認證 - 1.線距量測 | -- | ||||
| NM-008 | X光薄膜繞射儀 (XRD) | θ-2θ scan / GIXRD | 0.6 |
50 元/分 |
|
| TAF-ISO17025認證 - 1.相鑑定 | -- | ||||
| NM-009 | 熱場發射掃描式電子顯微鏡 (TFSEM) | 0.6 | 3,500 | ||
| TAF-ISO17025認證 - 1.線距量測 ; 2.表面影像觀測 | -- | ||||
| 液態試片影像觀測 | |||||
| NM-010 | 試片製備--Silicon 製程 | Cross-section | 0.2 | 15,000/片 | |
| 試片製備--Sapphire 製程 | Cross-section | 0.2 | 20,000/片 | ||
| 試片製備--其它製程 | 0.2 | 依材料特性估價 | |||
| NM-013 | 二次離子質譜儀(SIMS) | -- |
學界：5,000 業界：11,000/單位 |
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| TAF-ISO17025認證 - 1.硼元素縱深分析 | |||||
| NM-014 | 電性掃描探針顯微鏡D3100 |
32 元/分 |
AFM:50 電性掃描:67 (元/分) |
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| NM-015 | X光光電子能譜儀 |
100 元/分 |
120 元/分 |
||
| TAF-ISO17025認證 - 1.表面定性分析 | -- | ||||
| NM-016 | 微觀富氏轉換紅外線儀(Micro-FTIR) |
18 元/分 |
學界：25元/分 業界：35元/分 |
||
| NM-017 | 多模式原子力顯微鏡(ICON) |
50 元/分 |
67 元/分 |
1,700 高解析AFM需增加材料費 |
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| NM-018 | 奈米尺度電性縱深分析(DHEM) | 7,000 | |||
| NM-019 | 奈米壓痕(Nanoindenter) | 0.72 | 3,600 | ||
| NM-020 | 顯微拉曼光譜儀(Micro-Raman) | 33.3元/分 |
學界：66.7元/分 業界：66.7元/分 |
自行操作只限學界 | |