注意事項：
1.自行操作預約/委託服務申請：請至 製程與量測分析服務系統 / MES系統 申請
2.設備考核表：請至 儀器設備訓練申請
3.設備開放等級：說明

備註設備工程師聯絡email: 葉祐名 ymyeh@narlabs.org.tw ; 蔡來福 lftsai@narlabs.org.tw; 湯淵富 yftang@narlabs.org.tw; 李彥希 yhli@narlabs.org.tw; 陳姿穎 ty_chen@narlabs.org.tw; 楊博任 2313110@narlabs.org.tw; 王良凱 liang_kai@narlabs.org.tw

設備 編號	設備名稱	聯絡窗口	分機	設備 簡介	設備 作業標準	開放 等級	放置位置
SE-001	電漿輔助式化學氣相沈積&感應耦合式蝕刻系統(PECVD & ICP)	葉祐名/蔡來福	6621/6625	下載	下載	B2	台南基地3F
SE-002	反應式離子蝕刻系統(STS)	蔡來福/湯淵富	6625/6624	下載	下載	B2	台南基地3F
SE-003	金屬濺鍍系統(Sputter)	蔡來福/葉祐名	6625/6621	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-005	四點探針電阻量測儀(Four Point Probe)	蔡來福/李彥希	6625/6629	下載	下載	B1	台南基地4F
SE-007	薄膜測厚儀(N&K Analyzer)	楊博任/湯淵富	6614/6624	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-009	自動化光阻塗佈及顯影系統(Track)	楊博任/湯淵富	6614/6624	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-010	光罩對準曝光系統(Mask aligner)	楊博任/湯淵富	6614/6624	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-011	射頻濺鍍機(RF Sputter)	湯淵富/蔡來福	6624/6625	下載	下載	B1	台南基地4F
SE-013	光阻去除及濕蝕刻化學槽(PR Strip & Wet Etching Chemical Hood)	李彥希/湯淵富	6629/6624	下載	下載	B1	台南基地3F
SE-014	破片光阻旋轉塗佈機(Spin Coater)	楊博任/湯淵富	6614/6624	下載	下載	B1	台南基地4F
SE-016	熱蒸鍍機(Thermal Coater)	湯淵富/蔡來福	6624/6625	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-017	光罩對準曝光機(Mask Aligner MJB3)	湯淵富/蔡來福	6624/6625	下載	下載	B1	台南基地4F
SE-019	表面輪廓量測儀(Profile Meter)	湯淵富/蔡來福	6624/6625	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-023	3D雷射顯微鏡(3D Laser Microscopy)	湯淵富/蔡來福	6624/6625	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-024	晶粒級對準接合系統 (Chip To Wafer Bonder)	陳姿穎/湯淵富	6622/6624	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-025	晶圓級對準接合系統 (Wafer To Wafer Bonder)	湯淵富/蔡來福	6624/6625	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-026	雷射去接合系統(Laser Debonder)	蔡來福/葉祐名	6625/6621	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-027	晶圓減薄研磨設備(Wafer Thinning System (Grinder))	葉祐名/蔡來福	6621/6625	下載	下載	B2	台南基地1F
SE-028	電子槍蒸鍍系統(Electron Beam & Thermal Evaporation  Deposition  System)	李彥希/陳姿穎	6629/6622	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-029	快速退火系統(RTA)	李彥希/陳姿穎	6629/6622	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-030	複合薄膜多腔體濺鍍系統(Cluster RF Sputter)	李彥希/葉祐名	6629/6621	下載	下載	B2	台南基地3F
SE-031	化學機械研磨(Chemical-Mechanical Polishing (CMP))	蔡來福/葉祐名	6625/6621	下載	下載	B2	台南基地1F
SE-032	原子層沉積系統(Atomic Layer Deposition (ALD))	葉祐名/蔡來福	6621/6625	下載	下載	B2	台南基地3F
SE-033	ELS7500電子束直寫微影系統(ELIONIX ELS7500-EX)	陳姿穎/蔡來福	6622/6625	下載	下載	B2	台南基地4F
SE-034	晶圓濕式清洗系統(Wet Bench – RCA Cleaning)	李彥希/湯淵富	6629/6624	下載	下載	B2	台南基地3F
SE-C04	紫外光/可見光 光譜儀 (UV-VIS-NIR Spectrophotometer)	王良凱/陳姿穎	8804/6622	下載	下載	B2	成大奇美樓8樓
SE-C14	鍍金機(Gold Sputter)	王良凱/李彥希	8804/6629	下載	下載	B1	成大奇美樓8樓
SE-C15	電子顯微鏡(SEM)	王良凱/李彥希	8804/6629	下載	下載	B2	成大奇美樓8樓