歷任首長
台灣半導體研究中心 歷任主任
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侯拓宏
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2022.10 - 迄今
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邱佳松(代理)
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2022.04 - 2022.09
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葉文冠
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2019.01 - 2022.04
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國家奈米元件實驗室 歷任主任
| 葉文冠 | 2014.08~2018.12 |
| 綦振瀛(代理) | 2013.02~2014.07 |
| 楊富量 | 2008.08~2013.01 |
| 王永和(代理) | 2008.01~2008.07 |
| 倪衛新(代理) | 2007.10~2007.12 |
| 倪衛新 | 2004.10~2007.10 |
| 李羅權(暫兼) | 2004.08~2004.10 |
| 施敏 | 2003.06~2004.07 |
國家晶片系統設計中心 歷任主任
| 葉文冠 | 2018.02~2018.12 |
| 呂良鴻 | 2014.02~2018.01 |
| 闕志達 | 2010.11~2014.01 |
| 王永和(代理) | 2010.07~2010.10 |
| 魏慶隆 | 2007.07~2010.06 |
| 周景揚(代理) | 2007.02~2007.06 |
| 周景揚 | 2004.02~2007.02 |
| 李鎮宜 | 2003.06~2004.02 |