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台南儀器設備列表

注意事項:
1.自行操作預約/委託服務申請:請至 製程與量測分析服務系統 / MES系統 申請
2.設備考核表:請至 儀器設備訓練申請
3.設備開放等級:說明

設備
編號
設備名稱 聯絡窗口 分機 設備
簡介
設備
作業標準
開放
等級
放置位置
SE-001 電漿輔助式化學氣相沈積&感應耦合式蝕刻系統(PECVD & ICP) 葉祐名/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地3F
SE-002 反應式離子蝕刻系統(STS) 蔡來福/陳永祥 6614 下載 下載 B2 台南基地3F
SE-003 金屬濺鍍系統(Sputter) 蔡來福/陳永祥 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-005 四點探針電阻量測儀(Four point probe) 蔡來福/李彥希 6614 下載 下載 B1 台南基地3F
SE-007 薄膜測厚儀(n&k analyzer) 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-008 濕式蝕刻清洗系統(Wet bench) 李彥希/湯淵富 6614 下載 下載 B2 台南基地3F
SE-009 自動化光阻塗佈及顯影系統(Track) 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-010 光罩對準曝光系統(Mask aligner) 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-011 射頻濺鍍機(RF Sputter) 蔡來福/李彥希 6614 下載 下載 B1 台南基地4F
SE-013 光阻去除及濕蝕刻化學槽(PR strip & wet etching chemical hood) 李彥希/湯淵富 6614 下載 下載 B1 台南基地3F
SE-014 破片光阻旋轉塗佈機(Spin coater) 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B1 台南基地4F
SE-016 熱蒸鍍機(Thermal coater) 湯淵富/陳永祥 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-017 光罩對準曝光機(Mask aligner MJB3) 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B1 台南基地4F
SE-019 表面輪廓量測儀(Profile meter) 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-022 半自動化銅電鍍機 葉祐名/湯淵富 6614 下載 下載 B1 台南基地3F
SE-023 3D雷射顯微鏡(3D Laser Microscopy) 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-024 晶粒級對準接合系統 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-025 晶圓級對準接合系統 湯淵富/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-026 雷射去接合系統 蔡來福/葉祐名 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-027 晶圓減薄研磨設備 葉祐名/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地1F
SE-028 電子槍蒸鍍系統 李彥希/陳姿穎 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-029 快速退火系統(RTA) 李彥希/陳姿穎 6614 下載 下載 B2 台南基地4F
SE-030 複合薄膜多腔體濺鍍系統(Cluster RF Sputter) 李彥希/葉祐名 6614 下載 下載 B2 台南基地3F
SE-031 化學機械研磨 葉祐名/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地1F
SE-032 原子層沉積系統 葉祐名/蔡來福 6614 下載 下載 B2 台南基地3F
SE-C03 表面修飾製程塗佈系統 (NMs Surface Modification and Coating Bench) 陳姿穎/葉祐名 8803/6614 下載 下載 B1 成大奇美樓8樓
SE-C04 紫外光/可見光 光譜儀 (UV-VIS-NIR Spectrophotometer) 陳姿穎/葉祐名 8803/6614 下載 下載 B2 成大奇美樓8樓
SE-C05 螢光光譜儀 (photoluminescence) 陳姿穎/葉祐名 8803/6614 下載 下載 B2 成大奇美樓8樓
SE-C06 直流量測系統(IVCV) 李明道/陳姿穎 8812/8803 下載 下載 B2 成大奇美樓8樓
SE-C12 X-光螢光分析儀(XRF) 陳姿穎/葉祐名 8803/6614 下載 下載 B2 成大奇美樓8樓
SE-C14 鍍金機(Gold Sputter) 李彥希/湯淵富 6614 下載 下載 B1 成大奇美樓8樓
SE-C15 電子顯微鏡(SEM) 李彥希/湯淵富 6614 下載 下載 B2 成大奇美樓8樓