奈米元件量測
本實驗室提供各式半導體及奈米元件所需之電性量測,除了基本的電流-電壓、電容-電壓、脈衝電流-電壓特性分析,以及可靠度測試等以外;亦提供低頻雜訊頻譜與隨機電報雜訊(RTS Noise)量測,協助元件之缺陷分析,另搭配CM300探針工作台可進行12吋晶圓Auto Mapping測試。
本服務項目下之機台包括IV&CV電性量測系統、奈米元件參數量測系統、元件低頻雜訊參數量測系統;其中IV&CV電性量測系統僅提供學生自行操作,不提供委託服務;另兩套系統則同時提供委託服務與自行操作。
本服務項目下之機台包括IV&CV電性量測系統、奈米元件參數量測系統、元件低頻雜訊參數量測系統;其中IV&CV電性量測系統僅提供學生自行操作,不提供委託服務;另兩套系統則同時提供委託服務與自行操作。
委託操作注意事項
- 欲了解委託操作流程與辦法,請點選:檢視委託操作流程與辦法
- 即日起,請使用線上所提供最新版本的量測計劃書表格撰寫量測計劃。
- 請於線上申請完成後一週內,將線上量測申請完成時所列印出來的申請表,請指導教授或單位主管簽章後,傳真一份至本實驗室。FAX:03-5733795。
- 元件低頻雜訊/奈米元件量測系統其量測型態分為 On-wafer/On-wafer(mounted on PCB)/Others 三種。
- 請參照各儀器設備的 Layout Rule 及注意事項,若不符合規定將無法量測。
- 可量測待測物數目之上限為 60,且數目之算法以實際下針量測次數為準。例如:若需要兩種溫度之變溫量測,則可量測待測物數目之上限將為 60/2 = 30,以此類推。
- 量測案件若因研究上的需要,可以不受上述規則所限制,唯申請者必須提供內容詳細且完整的量測計劃書,經本實驗室確認量測上的必要性與可行性後,方可進行量測。
- 請確實規劃好量測內容,量測計劃書一旦傳真至本實驗室,將不接受任何的事後增改,除非重新進行量測申請。
- 請勿針對相同元件/電路申請重複量測。如因出於實驗上的需要使然,請附加上次量測且分析過後的量測數據,供實驗室作重複量測必要性之審查。
- 對於量測資料有任何疑問,可在量測時向工程師提出並討論之,請勿在事後提出補量測之請求。
- 請量測申請者於排定的量測日期親自攜帶試片至本實驗室,以免元件受損。
- 目前提供 BJT 元件及 FET 元件之標準偏壓型態分別為 Common-Emitter Configuration 及 Common-Source Configuration,若其他特殊量測需求請來電本實驗室。TEL:03-5773693 ext. 7607。
- 申請量測時,請先確認欲量測的元件或電路可正常運作再送件。
- 若申請人無故取消已排定之量測,該次量測申請將被刪除。
自行量測注意事項
- 預約機台時,請儘量預約晚上的時段;白天的時段本實驗室工程師有優先使用權。
- 預約白天時段者,請於預約當日至本實驗室與工程師進行機台交接相關事宜。
- 預約晚上時段者,請於預約當日17:00前至本實驗室與工程師進行機台交接相關事宜。
- 預約假日時段者,請於預約當日前一工作日17:00前至本實驗室與工程師進行機台交接相關事宜。
- 請準時於預約時段使用機台,切勿無故遲到或不到。
- 通過『設備考核表』檢驗的學生,始能使用考核過的儀器設備。
- 嚴禁自行搬動任何儀器;若有需求者請提前洽詢儀器負責人。
- 使用後請務必刷卡登出系統,並填寫『設備使用紀錄表』。
- 一律使用本實驗室所提供之量測零件(如:轉接頭);若自備量測零件,請事先告知儀器負責人。
- SMA接頭轉接時,請使用 5 磅-英吋之扭力板手。
- 若違背上述規定者,依『設備違規管理要點』懲處。