產研界依單位定價收費。
學界自費優惠：依單位定價之 80% 收費，即單位定價 x 80%。
學界部分負擔優惠：依學界自費之 10% 收費，即單位定價 x 80% x 10%。
教育性晶片優惠：以 100% 記帳方式處理，無另收費。
新進教師優惠：服務未滿兩年之新進教師享有優惠服務，即以 100% 記帳方式處理，無另收費。
院內單位優惠：本院(財團法人國家實驗研究院)院內單位以 100% 記帳方式處理，無另收費。

設備名稱	收費標準
鋁線打線機	500 (元/4小時)
顯微照相	500 (元/4小時)
示波器 (立肯 LT584)	500 (元/4小時)
LCR 電表	500 (元/4小時)
電路板雕刻機	500 (元/4小時)
半導體參數分析儀	500 (元/4小時)
示波器 (LeCroy Lc564A)	500 (元/4小時)
可程式恆溫恆濕試驗系統	500 (元/4小時)
SOC 晶片測試	4,500 (元/1小時)
微機電量測系統	1,800 (元/1小時)
Laser 切割系統	300 (元/1小時)
類比量測系統	2,000 (元/1小時)
電源管理晶片量測系統	800 (元/1小時)
矽光子光學量測系統	3900 (元/1小時)
高頻高速光電量測系統	11000 (元/1小時)