本院台灣半導體研究中心(以下簡稱本中心) L22 高速量產型光學曝光系統[248 Scanner] 暫停使用公告
主旨：本院台灣半導體研究中心(以下簡稱本中心) L22 高速量產型光學曝光系統[248 Scanner] 暫停使用公告
公告事項：
一、本中心L22 高速量產型光學曝光系統[248 Scanner] ，因軟體異常無法使用機台，須待原廠解析問題後回覆，目前無法使用，預計耗時兩週排除。
二、即日起至2025年12月31日暫停相關製程服務，若有提前或延後時程，將公告於本中心網頁機台狀況。
三、原委託代工服務將暫時，使用者如果有任何問題，可洽機台負責人：黃才銘，分機 7567，email: tmhuang@niar.org.tw。
公告事項：
一、本中心L22 高速量產型光學曝光系統[248 Scanner] ，因軟體異常無法使用機台，須待原廠解析問題後回覆，目前無法使用，預計耗時兩週排除。
二、即日起至2025年12月31日暫停相關製程服務，若有提前或延後時程，將公告於本中心網頁機台狀況。
三、原委託代工服務將暫時，使用者如果有任何問題，可洽機台負責人：黃才銘，分機 7567，email: tmhuang@niar.org.tw。