本中心6吋TRACK自動化光阻塗佈及顯影系統(CF-L09)移出作業動線通知
主旨：本中心6吋TRACK自動化光阻塗佈及顯影系統(CF-L09)移出作業動線通知
一.作業時間：115年1月15日（星期四）上午9:00至16:00。
二.作業內容：進行6吋TRACK自動化光阻塗佈及顯影系統(CF- L09)移出100級無塵室作
業，請學生與各位同仁於搬運動線範圍內注意人員與設備安全。（搬運動線
位置請參閱附件。）
三.注意事項：如作業時間或動線有所變動，將另行公告通知。
四.聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽負責工程師-洪鶯玲/7746。
二.作業內容：進行6吋TRACK自動化光阻塗佈及顯影系統(CF- L09)移出100級無塵室作
業，請學生與各位同仁於搬運動線範圍內注意人員與設備安全。（搬運動線
位置請參閱附件。）
三.注意事項：如作業時間或動線有所變動，將另行公告通知。
四.聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽負責工程師-洪鶯玲/7746。