公告
主旨：本中心微縮光阻處理系統移入作業期間搬運動線機台暫停服務通知
說明：配合微縮光阻處理系統移入100級無塵室作業，相關搬運動線範圍內之機台將暫停服務，相關事項如下：
一、作業時間：1 月 27 日（星期二）09:00 至 16:00。
二、作業內容：進行微縮光阻處理系統移入100級無塵室作業，作業期間搬運動線範圍內機台暫停服務。（搬運動線位置請參閱附件。）
三、暫停服務機台：

• 8 吋高密度化學氣相沉積系統（T28）
• 後段化學氣相沉積系統（T26）
• FIB 電子束/離子束雙束系統（L13）
• 阻劑塗佈及顯影系統 ACT8（L17）
• 聚焦電子束系統（L18）

四、注意事項：
若搬運作業或機台暫停服務時間有任何變動，將另行公告通知。
五、聯絡資訊：
若對微縮光阻處理系統移入作業有任何疑問，請洽：
負責工程師 洪朝欣
分機：7573
電子郵件：cshong@niar.org.tw