本院台灣半導體研究中心(以下簡稱本中心) CF-L27 Chip size FE-SEM 熱場發射掃描式電子顯微鏡(CF-L27)停機公告
公告事項：
一. 本中心熱場發射掃描式電子顯微鏡(Chip size FE SEM)於4/13 (一)發現真空異常，設備廠商於4/14 (二)檢修後發現，為Turbo Pump損壞造成，
無法正常抽真空，目前已請設備商與代理商緊急調料，因無現貨備品需費較久時間等候。
二. 機台停機時間預估自4/20 (一) 至 5/20 (三)。機台停機時，可利用CF-L13、NM-024、NM-023單站製程委託服務。
三. 如設備提前復機或延後，將於本中心網頁機台狀況與MES更新設備狀態，不再另行公告。
四. 若有相關問題請聯繫工程師陳虹君，分機7575，(hcchen@niar.org.tw)。
一. 本中心熱場發射掃描式電子顯微鏡(Chip size FE SEM)於4/13 (一)發現真空異常，設備廠商於4/14 (二)檢修後發現，為Turbo Pump損壞造成，
無法正常抽真空，目前已請設備商與代理商緊急調料，因無現貨備品需費較久時間等候。
二. 機台停機時間預估自4/20 (一) 至 5/20 (三)。機台停機時，可利用CF-L13、NM-024、NM-023單站製程委託服務。
三. 如設備提前復機或延後，將於本中心網頁機台狀況與MES更新設備狀態，不再另行公告。
四. 若有相關問題請聯繫工程師陳虹君，分機7575，(hcchen@niar.org.tw)。