本院台灣半導體研究中心(以下簡稱本中心) CF-L26 RAITH VOYAGER電子束微影系統停機公告
公告事項：
一. 本中心RAITH VOYAGER電子束微影系統 4/23(四)進行機 台訓練時，發生stage controller server lost，廠商遠端認為保險絲燒
掉;4/24(五)進行確認及保險絲更換後，仍出現 error，目前已約廠商在4/27(一)檢修出controller 內部的電源供應器損毀，已緊急調料
後維修。
二.機台停機時間預估自4/24(五) 09:30至5/5(二) 18:00。
三. 倘若開放時間更改，將於MES更新設備狀態，不再另行公告。若有任何問題，亦可洽分機7713王韵涵小姐。
一. 本中心RAITH VOYAGER電子束微影系統 4/23(四)進行機 台訓練時，發生stage controller server lost，廠商遠端認為保險絲燒
掉;4/24(五)進行確認及保險絲更換後，仍出現 error，目前已約廠商在4/27(一)檢修出controller 內部的電源供應器損毀，已緊急調料
後維修。
二.機台停機時間預估自4/24(五) 09:30至5/5(二) 18:00。
三. 倘若開放時間更改，將於MES更新設備狀態，不再另行公告。若有任何問題，亦可洽分機7713王韵涵小姐。