本中心可變形束胞元投影式電子束微影系統移入作業動線通知
一、作業時間：115年5月12日（星期二）上午9:00至17:00。
二、作業內容：
可變形束胞元投影式電子束微影系統移入100級無塵室黃光區，請學生與各位同仁於搬運動線範圍內注意人員與設備安全，作業期間搬運動線範圍內機台暫停服務。（搬運動線位置請參閱附件。）
三、暫停服務機台：
- 8 吋高密度化學氣相沉積系統（T28）
- 後段化學氣相沉積系統（T26）
- FIB 電子束/離子束雙束系統（L13）
- S9260A 線上型電子顯微鏡（L16）
- 熱場發射掃描式電子顯微鏡（L27）
- 智慧終端離子性蝕刻機（E15）
- Mattson ASPEN Asher-乾式光阻去除機（E07）
- 8吋前段多晶矽與介電層蝕刻機（E10）
- 8吋後段金屬與金屬層間引洞蝕刻機（E11）
- 電子束微影系統Raith Voyager（L26）
- 晶粒等級圖案定義對準系統（L20）
- 可變形束電子束光罩製作曝光機（L28）
四、注意事項：如作業時間或動線有所變動，將另行公告通知。
五、聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽負責工程師-鄭旭君(7644)。