本中心「奈米壓痕」設備下架公告
主旨：本院台灣半導體研究中心（以下簡稱本中心）「奈米壓痕」設備下架公告
依據：本中心115年7月2日「115年第23次主管會報」決議辦理。
公告事項：
一、本中心材料分析組「NM-019 奈米壓痕」設備，因機台使用年限已久，且主要關鍵零組件已停產，經核備通過，預定自115年8月31日起正式下架並終止服務。
二、後續使用方式：如有奈米壓痕分析需求，可透過晶創預約系統（https://scrs.tsri.org.tw/）查詢及預約相關設備；亦可洽詢其他外部測試資源，包括國立臺灣科技大學、國立中山大學、國立清華大學、國立成功大學貴重儀器中心及工業技術研究院量測技術發展中心等單位。
三、敬請有相關分析需求之使用者提前規劃後續量測安排，以避免影響研究及實驗進度。
依據：本中心115年7月2日「115年第23次主管會報」決議辦理。
公告事項：
一、本中心材料分析組「NM-019 奈米壓痕」設備，因機台使用年限已久，且主要關鍵零組件已停產，經核備通過，預定自115年8月31日起正式下架並終止服務。
二、後續使用方式：如有奈米壓痕分析需求，可透過晶創預約系統（https://scrs.tsri.org.tw/）查詢及預約相關設備；亦可洽詢其他外部測試資源，包括國立臺灣科技大學、國立中山大學、國立清華大學、國立成功大學貴重儀器中心及工業技術研究院量測技術發展中心等單位。
三、敬請有相關分析需求之使用者提前規劃後續量測安排，以避免影響研究及實驗進度。