本中心光學nk膜厚儀環境建置_防震基座移入作業期間搬運動線機台暫停服務通知
一、作業時間：115年9月16日（星期三）上午9:30至14:30。
二、作業內容：
進行光學nk膜厚儀環境建置_防震基座移入100級無塵室作業，請學生與各位同仁於搬運動線範圍內注意人員與設備安全，作業期間搬運動線範圍內機台暫停服務。（搬運動線位置請參閱附件。）
三、暫停服務機台：
- 8 吋高密度化學氣相沉積系統（T28）
- 後段化學氣相沉積系統（T26）
- FIB 電子束/離子束雙束系統（L13）
- Chip size FE SEM (L27)
- S9260A 線上型電子顯微鏡（L16）
- 四族磊晶機台（RDT-005）
- 橢圓儀M2000（M25）
- 智慧終端離子性蝕刻機(E15)
- 後段化學機械研磨系統(C13)
四、注意事項：如作業時間或動線有所變動，將另行公告通知。
五、聯絡資訊：若對本次設備移入作業有任何疑問，請洽:
工程師:劉瑞敏(7716)。
分機:7716
Mail:jmliu@niar.org.tw
工程師:劉瑞敏(7716)。
分機:7716
Mail:jmliu@niar.org.tw