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Equipment List (Tainan)

Notes：
  1. User Self-service or OEM Service：Please go to the Manufacturing and Measurement Analysis Service System / MES system.
  2. Equipment Assessment Form：Please apply through the Equipment Operation Training.
  3. Equipment Open Grade：Explanation.

Contact: Mr. Yeh：ymyeh@niar.org.tw ; Mr. Tsai：lftsai@niar.org.tw; Mr. Tang：yftang@niar.org.tw; Mr. Li： yhli@niar.org.tw; Ms. Chen：ty_chen@niar.org.tw; Mr. Yang: 2313110@niar.org.tw; Mr. Wang: liang_Kai@niar.org.tw

No. Equipment Contact Ext. Introduction Standard Procedures Open Grade Location
SE-001 PECVD & ICP Mr. Yeh/Mr. Tsai 6621/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 3F
SE-002 STS Mr. Tsai/Mr. Tang 6625/6624 下載 下載 B2 Tainan Base 3F
SE-003 Sputter Mr. Tsai/Mr. Yeh 6625/6621 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-005 Four Point Probe Mr. Tsai/Mr. Li 6625/6629 下載 下載 B1 Tainan Base 4F
SE-007 N&K Analyzer Mr. Yang/Mr. Tang 6614/6624 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-009 Track Mr. Yang/Mr. Tang 6614/6624 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-010 Mask Aligner Mr. Yang/Mr. Tang 6614/6624 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-011 RF Sputter Mr. Tang/Mr. Tsai 6624/6625 下載 下載 B1 Tainan Base 4F
SE-013 PR Strip & Wet Etching Chemical Hood Mr. Li/Mr. Tang 6629/6624 下載 下載 B1 Tainan Base 3F
SE-014 Spin Coater Mr. Yang/Mr. Tang 6614/6624 下載 下載 B1 Tainan Base 4F
SE-016 Thermal Coater Mr. Tang/Mr. Tsai 6624/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-017 Mask Aligner MJB3 Mr. Tang/Mr. Tsai 6624/6625 下載 下載 B1 Tainan Base 4F
SE-019 Profile Meter Mr. Tang/Mr. Tsai 6624/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-023 3D Laser Microscopy Mr. Tang/Mr. Tsai 6624/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-024 Chip To Wafer Bonder Ms. Chen/Mr. Tang 6622/6624 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-025 Wafer To Wafer Bonder Mr. Tang/Mr. Tsai 6624/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-026 Laser Debonder Mr. Tsai/Mr. Yeh 6625/6621 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-027 Wafer Thinning System (Grinder) Mr. Yeh/Mr. Tsai 6621/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 1F
SE-028 Electron Beam & Thermal Evaporation Deposition System Mr. Li/Ms. Chen 6629/6622 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-029 RTA Mr. Li/Ms. Chen 6629/6622 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-030 Cluster RF Sputter Mr. Li/Mr. Yeh 6629/6621 下載 下載 B2 Tainan Base 3F
SE-031 Chemical-Mechanical Polishing (CMP) Mr. Tsai/Mr. Yeh 6625/6621 下載 下載 B2 Tainan Base 1F
SE-032 Atomic Layer Deposition (ALD) Mr. Yeh/Mr. Tsai 6621/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 3F
SE-033 ELIONIX ELS7500-EX Ms. Chen/Mr. Tsai 6622/6625 下載 下載 B2 Tainan Base 4F
SE-034 Wet Bench – RCA Cleaning Mr. Li/Mr. Tang 6629/6624 下載 下載 B2 Tainan Base 3F
SE-C04 UV-VIS-NIR Spectrophotometer Mr. Wang/Ms. Chen 8804/6622 下載 下載 B2 NCKU Office 8F
SE-C14 Gold Sputter Mr. Wang/Mr. Li 8804/6629 下載 下載 B1 NCKU Office 8F
SE-C15 SEM Mr. Wang/Mr. Li 8804/6629 下載 下載 B2 NCKU Office 8F